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台积电称5nm工艺进展顺利 有望2020批量生产

2019-10-30 08:49:48 来源:中关村在线
据外媒报道,台积电副董事长兼首席执行官CC We称该公司的5nm计划已步入正轨,这或许意味着他们将有望在2020年第二季度实现5nm关键节点的批量制造。



目前台积电已经增加了其各种节点的支出。预计的投资额为100亿美元,后增加到了140亿至150亿美元。
 

据悉 台积电的5nm工艺(N5)将在其N7 +和N6工艺上使用的层数更多,将会采用极限紫外光刻(EUVL)。


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关键词: 台积电 5nm

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